沈阳芯源微电子设备有限公司由中科院沈阳自动化研究所于2002年底发起创立，公司座落在沈阳市浑南高新技术产业开发区，拥有高等级净化厂房和一流的研发办公环境，已通过ISO9001质量体系、ISO14001环境体系、OHSAS18001职业健康与安全体系和SEMI-S2国际产品安全体系认证。

沈阳芯源是从事半导体装备研发、生产、销售的专业供应商，在引进技术基础上消化吸收、创新提高，产品在匀胶显影技术领域居国内第一，达到国际先进水平。公司自主开发了擦片机、喷胶机、去胶机、甩干机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，形成了全自动集束式、全自动模块式、轨道式、手动设备等四大系列产品，可根据用户的工艺要求量身定制。产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛应用于半导体、太阳能、LED、MEMS、平板显示等领域中光刻、制版、擦片、清洗、湿法刻蚀、高端封装和各种薄膜旋涂工艺。可满足￠200㎜、0.25 μm前道制程和￠300㎜高端封装厚胶制程。产品已销往国内几十家客户。公司在上海设有办事处，配备了快速响应的销售和技术服务团队。

沈阳芯源是国内第一个将国产设备推广应用于集成电路8寸生产线的企业；自主创新研制的12英寸涂胶设备率先在国内突破了先进封装工艺关键技术,实现了国产IC装备在晶圆尺寸和新工艺应用上的重大突破，完全替代了进口高端设备，多项产品成果获得国家、省市的奖励。

沈阳芯源还牵头承担了国家科技重大专项任务“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目，依托国家重大专项的支持，芯源将加速提升企业的创新能力和产品成套能力，以先进可靠的产品和优质服务赢得客户信赖，共同发展，振兴民族半导体装备制造业。

业务领域：
1． 单晶圆处理设备的研发、生产、销售与服务。
2． 零部件销售、二手设备翻新、系统技术服务。
3． 半导体领域产品代理销售。